真空热处理加热和冷却金属工件需要十几个甚至几十个动作。在真空热处理电炉中，由于操作人员无法接近这些动作，真空热处理电炉的自动化程度很高。同时，经过热处理、保温等一些动作后，金属工件的淬火过程需要六七个动作，15秒之内就要完成。在这种灵活的条件下，完成多个动作时，操作人员很容易紧张和误操作。因此，只有高度自动化才能准确及时地协调程序。
金属零件的真空热处理是在封闭的真空炉中进行的，众所周知，真空密封是严格的。为了保证真空热处理过程的质量，提高真空炉的真空度，提高真空炉内气体的渗漏率是非常必要的。因此，真空热处理炉的关键问题是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空性能，真空热处理炉的结构设计必须遵循一个基本原则，即炉体要密封焊接，同时尽量少在炉体上开孔或不开孔，尽量少采用或避免使用动态密封结构，以最大限度地减少真空泄漏的机会。真空炉、水冷电极、热电偶输出器等部分及附件均安装在真空炉上，还需设计其密封结构。
大部分的加热和绝缘材料只能用于真空环境。由于真空热处理的内衬是在真空和高温下加热保温的，因此对这些材料提出了耐高温、散热效果好、导热系数小的要求。对抗氧化性要求低。因此，钽、钨、钼和石墨被广泛用作真空热处理炉的加热和绝缘材料。由于该材料在空气中极易氧化，故不适用于普通热处理炉。
