不同的冷却介质不同。真空淬火可分为真空油冷淬火、真空气冷淬火、真空水冷淬火和真空硝酸盐。真空油冷淬火、真空气冷淬火和真空回火主要用于模具真空热处理。为了保持工件真空加热的良好特性，选择和制定淬火介质和冷却工艺非常重要。模具淬火工艺主要采用油冷和气冷。
对于热处理后不再加工的模具工作面，淬火后应尽量使用真空回火，特别是真空淬火工件，可提高疲劳性能、表面亮度、耐腐蚀性等与表面质量相关的力学性能。
计算机模拟技术（包括组织模拟和性能预测技术）在真空热处理过程中的成功开发和应用，使模具的智能热处理成为可能。由于模具生产的小批量或单件的特点，以及对热处理性能理性能要求高、不允许浪费的特点，模具的智能热处理是必要的。
模具的智能热处理包括：模具的结构、材料和热处理性能要求；模具加热过程中温度场和应力场分布的计算机模拟；模具冷却过程中温度场、相变过程和应力场分布的计算机模拟；模拟加热和冷却过程；淬火过程的制定；热处理设备的自动控制技术。工业发达国家在真空高压气体淬火领域进行了技术研究和开发，主要针对模具。
